阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法.pdf

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本申请公开了一种阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法。其中，阳极组件包括不溶性阳极网和绝缘阻挡件；不溶性阳极网包括正面，正面用于朝向待镀件；绝缘阻挡件的至少一部分设置于不溶性阳极网的正面。在上述设置中，利用绝缘阻挡件对不溶性阳极网的正面的至少一部分进行遮挡，实现减弱对应位置的电场强度，从而使得待镀件的对应位置不会得到过量的金属，进而使得待镀件的对应位置的厚度可以得到一定的控制，有利于实现电镀均一性，有利于保证半导体封装结构的可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114686955 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011599782.7 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人矽磐微电子（重庆）有限公司地址