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本发明公开了一种夹持式薄膜电镀装置，包括：两个轮轴组件，两个轮轴组件对称设置，两个轮轴组件同步运动，一轮轴组件与薄膜的一侧相连，另一轮轴组件与薄膜的另一侧相连；轮轴组件包括：轮轴，轮轴与薄膜的第一表面滚动相连；多个夹持装置，多个夹持装置均匀设在轮轴上；闭夹机构，闭夹机构位于轮轴的进料端，闭夹机构用于推动夹持装置压在薄膜的第二表面上，以使夹持装置与轮轴配合夹持住薄膜；开夹机构，开夹机构位于轮轴的出料端，开夹机构用于反向推动夹持装置，以释放薄膜。本发明具有提高薄膜输送稳定性，同时提高表面镀层均匀性和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115821358 A
(43)申请公布日 2023.03.21
(21)申请号 202310102151.7
(22)申请日 2023.02.13
(71)申请人 常州欣盛半导体技术股份有限公司
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