原创力文档- 5
- 0
- 约1.09万字
- 约 9页
- 2023-05-15 发布于四川
- 举报
本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种自驱动光电探测器，该自驱动光电探测器，由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、硒氧铋薄膜层和硅单晶基底。硒氧铋薄膜层通过旋涂法、空气退火处理、化学气相沉积、湿法转移等方法制备。测试结果表明，构建异质结极大地提高了硒氧铋基器件的光响应性能，且该器件表现出良好的自驱动光探测性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725245 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210381607.3
(22)申请日 2022.04.13
(71)申请人 中国石油大学
文档评论（0）