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半导体对准装置及半导体对准方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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半导体对准装置及半导体对准方法.pdf

    揭示一种半导体对准装置及半导体对准方法，即校正晶圆在晶圆保持件上的错位的方法以及执行此方法的装置。在一实施方式中，半导体对准装置包含晶圆平台；晶圆保持件位于晶圆平台上；第一位置侦测器配置以侦测晶圆在晶圆保持件之上在第一方向上的对准；第二位置侦测器配置以侦测晶圆在晶圆保持件之上在第二方向上的对准；以及旋转侦测器配置以侦测晶圆在晶圆保持件之上的旋转对准。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724993 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110678260.4 (22)申请日 2021.06.18 (30)优先权数据

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