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本发明公开了一种关于高精密仪器的主被动宽频隔振系统,所述隔振系统包括隔振屏障和主动隔振压电装置,所述隔振屏障包括排桩,所述主动隔振压电装置包括依次电信号连接的加速度传感器、功率放大器、状态观测器和压电作动器,所述主动隔振压电装置集成为基座,精密仪器设置于基座上。该系统能够深度结合主动和被动隔振功能,实现更好的隔振效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114776756 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210024516.4
(22)申请日 2022.01.11
(71)申请人 温州大学
地址 325000 浙
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