一种多弯波导DFB激光器芯片.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种多弯波导DFB激光器芯片.pdf

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本发明公开了一种多弯波导DFB激光器芯片，涉及DFB激光器芯片技术领域，包括相互间隔地设置于衬底的第一激光器腔和第二激光器腔；第一激光器腔和第二激光器腔分别沿y方向刻蚀有第一脊条和第二脊条，第一脊条和第二脊条分别设有沿x方向弯折的第一弯折段和第二弯折段，由此使得第一激光器腔和第二激光器腔的直波导变为弯波导，相较于传统多激光器腔直条脊波导的DFB激光器芯片，本发明的单模测试成本更低。本发明通过在第一脊条上设置第三弯折段，并使得第一激光器腔的光栅由第一AR涂层解理面延伸至第三弯折段之前，且第二激光器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115864134 A (43)申请公布日 2023.03.28 (21)申请号 202310126505.1 (22)申请日 2023.02.17 (71)申请人福建慧芯激光科技有限公司地址 3