原创力文档- 17
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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明公开了一种悬空波导支撑结构，包括由下至上依次设置的牺牲层、下包层、波导芯层和上包层，所述悬空波导支撑结构整体形成有脊波导，其特征在于：所述脊波导宽度方向的两侧分别开设有支撑凹槽，所述脊波导宽度方向的两侧还分别开设有掏空凹槽，所述支撑凹槽包括主体凹槽，所述主体凹槽的底端向下超过牺牲层，位于脊波导同一侧的支撑凹槽的主体凹槽和掏空凹槽沿着脊波导的延伸方向间隔布置，位于脊波导两侧对应的主体凹槽之间的牺牲层、位于脊波导两侧对应的掏空凹槽之间的牺牲层均腐蚀而成空气层，所述悬空波导支撑结构的上表面在掏空
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114764163 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202110054588.9
(22)申请日 2021.01.15
(71)申请人 宁波元芯光电子科技
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