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本发明提供一种超导腔等离子体清洗的电路装置及其使用方法，其装置包括依序连接的信号源、功率放大器、环形器、定向耦合器、支节调谐器、偏置器、功率耦合器以及超导腔，定向耦合器的两个耦合端口及超导腔的功率提取端口连接至功率监测设备，各个射频器件之间通过特性阻抗为50欧姆的同轴射频传输线连接。本发明通过支节调谐器调节其支节短路片的位置来改善弱耦合态的功率耦合器阻抗不匹配的问题，使得外界功率得以顺利馈入超导腔内，并通过偏置器设备为功率耦合器天线施加一定的直流偏置电压，用于排斥功率耦合器天线附近的惰性气体正离
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116000022 A
(43)申请公布日 2023.04.25
(21)申请号 202310030747.0 H05H 1/24 (2006.01)
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