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一种台阶调控的石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种台阶调控的石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法.pdf

    本发明提供了一种台阶调控的石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法。该制备方法包括：将蓝宝石晶圆进行预处理；将预处理的蓝宝石晶圆衬底置于石墨盘中，电磁感应加热，压强抽至10Pa，设置生长压强，生长温度和生长时间；待温度升至200℃‑500℃时，通入氩气，继续升温至600℃‑800℃时，通入氢气；温度升高至生长温度时，通入生长气；待生长结束后，停止通入生长气，在氩气和氢气环境下降温，待温度低于500℃时，关闭氢气，待温度低于100℃时，关闭氩气，进行破真空处理，得到石墨烯蓝宝石晶圆。通过上述方法可以制备得到高

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114804082 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210356236.3 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人 苏州大学 地址 215137 江苏

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