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驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法.pdf

    本公开涉及驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供一种驱动装置，其特征在于，具有：电源部，对包括马达以及马达驱动器的驱动部供给电力；蓄电器，能够积蓄来自所述电源部的电力以及来自所述驱动部的再生电力；切换部，设置于所述电源部与所述蓄电器之间，用于进行使所述电源部与所述蓄电器之间的状态成为连接状态或者成为非连接状态的切换；以及控制部，控制所述切换部，所述控制部根据所述马达的驱动条件，预测为了驱动所述马达而所述马达驱动器需要的第1电压值、以及由于所述马达的驱动而变动的所述蓄电器的第2电压值，根据所述

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116009362 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211269578.8 (22)申请日 2022.10.18 (30)优先权数据 2021-172655 202

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