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异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法.pdf

    本发明涉及异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法。一种异物检查方法，进行在载置台上配置物体并一边使所述载置台以及对所述物体投射检查光的投光部中的至少一方驱动一边检测所述物体的检查区域上有无异物的异物检查，包括：第1检查工序，检查所述检查区域中的异物；清洁工序，对所述检查区域进行清洁；以及第2检查工序，检查在清洁工序中清洁后的所述检查区域中的异物，在第2检查工序中，在所述检查区域中的在第1检查工序中检测到异物的第1区域中，所述载置台和所述投光部的相对速度被设定为第1速度，在所述检查区域中的在

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116008298 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211269716.2 (22)申请日 2022.10.18 (30)优先权数据

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