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- 2023-05-17 发布于四川
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自带非对称微盘腔光泵浦的单光子源属于半导体光电子技术领域。现有技术难以实现小型化、集成化，泵浦效率、单光子产生效率低。在本发明中，光泵浦为微盘腔，该微盘腔和微柱腔分立于同一下电极、衬底、缓冲层上，所述微盘腔、微柱腔具有相同外延结构；所述相同外延结构是指，自下而上均依次是下分布布拉格反射镜、下波导层、量子点有源增益层、上波导层、氧化物限制层、上分布布拉格反射镜、覆盖层、电极金属层；所述微盘腔为非对称微盘腔，出光方向朝向微柱腔；所述微柱腔的侧面朝向微盘腔的部分开有凹槽，在微柱腔的电极金属层的中心部分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114825034 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210243621.7
(22)申请日 2022.03.12
(71)申请人 长春理工大学
地址 130022
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