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一种基于压电薄膜的双轴微反射镜.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种基于压电薄膜的双轴微反射镜.pdf

    本发明涉及一种基于压电薄膜的双轴微反射镜。本发明利用类似铌酸锂/钽酸锂的压电薄膜特定切向的e16压电应力常数，在这类压电薄膜的特定的切向上，在两个面内方向上拥有较高的e16，可被用于直接驱动两个垂直方向的振荡轴的偏转，从而实现在两个扭转轴上较大的偏转角。与常规的压电微镜通过信号相位的改变间接通过结构实现双轴偏转的设计不同，本发明可在振荡轴上直接产生应力作用于振荡轴使其偏转。并且由于所利用的两个本征模式是相互解耦的，因此可同时实现两个扭转轴方向上各自独立的高角度的偏转。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114815222 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210179579.7 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人 上海科技大学 地址 201210

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