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薄膜沉积系统及其方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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薄膜沉积系统及其方法.pdf

    一种薄膜沉积系统及其方法，薄膜沉积系统包含定位于晶圆之上且用以在薄膜沉积制程期间产生电浆的顶板。薄膜沉积系统包含感测器，感测器用以产生指示薄膜沉积系统的组件的寿命、由薄膜沉积系统沉积的薄膜的特性或流入薄膜沉积系统中的制程材料的特性的感测器信号。薄膜沉积系统包含控制系统，控制系统用以回应于感测器信号在薄膜沉积制程期间调整薄膜沉积系统顶板相对于薄膜沉积系统中晶圆位置的相对位置。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114807909 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210157927.0 C23C 16/46 (2006.01)

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