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基于MgO钝化的非晶Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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基于MgO钝化的非晶Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法.pdf

    本发明公开了基于MgO钝化的非晶Ga2O3日盲紫外探测器及其制备方法，解决现有非晶氧化镓日盲紫外探测器中缺陷较多，导致器件响应时间慢，且无法在高温环境下工作的问题，非晶Ga2O3日盲紫外探测器通过制备衬底工艺、紫外光刻技术处理工艺及原子层沉积设备处理工艺得到；且在进行原子层沉积设备处理工艺时，分别采用(环戊二烯基)镁、TEG和氧气作为Mg源、Ga源和O源；制备方法，首先将大块的原材料经切割和清洗得到1×1cm2大小的衬底；然后将衬底采用负胶光刻法制备叉指电极图案，再采用双源电子束物理气相沉积法制

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114823930 B (45)授权公告日 2023.04.11 (21)申请号 202210297477.5 H01L 31/0376 (2006.01)

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