一种晶圆校准机构.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种晶圆校准机构.pdf

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本发明涉及一种晶圆校准机构，包括校准平台、影像轴和扫码器，影像轴位于校准平台沿着X轴负方向一侧的上方位置，扫码器位于校准平台沿着Y轴正方向一侧的上方位置。本发明一种晶圆校准机构，采用螺纹配合弹垫的结构来调整水平固定板的平面度；半透明的吸附台和背光源使用，再配合相机，实现找中心功能，符合半导体行业要求，提高了激光加工效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823452 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210458626.1 (22)申请日 2022.04.24 (71)申请人苏州德龙激光股份有限公司地址 2