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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明涉及半导体器件技术领域，提出一种碳材料加热器，包括：碳材料柔性基底，其在电流方向上的电阻率被配置为恒定，因此可以较好地满足化学气相沉积反应器或者快速热退火反应器中的均质加热需求，具有较好的实用性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114845426 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210644432.0
(22)申请日 2022.06.08
(71)申请人 上海埃延半导体有限公司
地址 20
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