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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明涉及硅晶圆洗剂加工领域，具体公开了一种硅晶圆洗剂的制备设备，所述硅晶圆洗剂的制备设备包括硅晶圆洗剂制备设备主体和加热蛇形管，所述硅晶圆洗剂制备设备主体的外板设置有限位组件，所述限位圆形壳的两侧顶部开设有透气管，所述加热蛇形管安装于限位圆形壳的内部，所述限位圆形壳的顶部设置有防护组件，有益效果为：通过限位组件和防护组件，有利于操作人员能够较为便捷的拆装更换加热蛇形管较为省力，并且储存容器、伸缩杆、限位底块、硅胶头和限位块，有利于操作人员能够根据现场需求，较为便捷的对硅晶圆洗剂原料进行控量，同
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116116328 A
(43)申请公布日 2023.05.16
(21)申请号 202211629477.7
(22)申请日 2022.12.19
(71)申请人 江苏芯诺半导体科技有限公司
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