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本发明公开了一种超声波主轴，其中，包括旋转组件、振子和柔性连接管路，所述旋转组件上形成有对接槽和第一流道，所述第一流道与所述对接槽连接；所述振子安装在所述旋转组件上，位于所述对接槽的开口处；所述振子内设有第二流道；所述柔性连接管路用于柔性连接所述旋转组件和所述振子；并且，所述柔性连接管路一端与所述第一流道连通，另一端与所述第二流道连通，形成出液通路。本申请通过设置柔性连接管路减少沿超声波主轴的轴向方向上的超声能量的传递，减少超声损耗，延长使用寿命，提高使用过程中超声波主轴的稳定性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114833596 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210463795.4
(22)申请日 2022.04.28
(71)申请人 深圳迈菲精密有限公
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