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本发明属于半导体硬脆材料切割领域，尤其涉及一种用于线锯机床测量锯丝弯曲的装置，包括装置本体，装置本体包括支架，支架底部活动设置有底板，支架前后壁均滑动设置有对开的遮光板，支架一侧壁设置有照明用的光源，另一侧壁对应设置有若干个感应光源的传感器，支架侧壁上还设置有与若干个传感器电性连接的信号处理盒，当锯丝弯曲过大时，上半部分的传感器发出信号，信号处理盒经过判断将弯曲过大需要减小进给速度的信号发送给机床的控制中心，机床的控制中心通过识别判断，发出减小电机转速的指令给机床的进给电机，以此减小了进给速度，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114833954 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210529872.1
(22)申请日 2022.05.16
(71)申请人 青岛恒星科技学院
地址 26600
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