1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

在石墨烯薄片上沉积钝化层.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约1.17万字
  • 约 10页
  • 2023-05-18 发布于四川
  • 举报

在石墨烯薄片上沉积钝化层.pdf

    所公开技术的实施例包含将钝化层沉积到可以包含石墨烯层的晶片的表面上。所述钝化层可以保护且隔离所述石墨烯层与可能损坏所述石墨烯层的电和化学条件。因此，所述钝化层可以进一步保护石墨烯传感器免于损坏和影响其既定用途。另外，可以图案化所述钝化层以暴露所述钝化层下方的所述石墨烯层的选择区域，因此产生石墨烯凹孔且将所述石墨烯层暴露于适当的化学品和溶液。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109314043 A (43)申请公布日 2019.02.05 (21)申请号 20178

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >