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一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用于该装置的蚀刻方法.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用于该装置的蚀刻方法.pdf

    本发明涉及蚀刻加工技术领域，具体涉及一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用于该装置的蚀刻方法，该加工装置包括输送机构、喷头组件、刷头组件、用于驱动刷头组件进行三轴移动的三轴驱动机构，所述输送机构用于输送工件，所述喷头组件用于对位于输送机构上的工件喷涂蚀刻液，所述刷头组件用于对喷涂蚀刻液后的工件进行蚀刻残渣清理。本发明的目的在于提供一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用于该装置的蚀刻方法，能有效去除金属蚀刻过程中产生的时刻残渣，增加蚀刻效率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114836756 A (43)申请公布日 2022.08.02 (21)申请号 202210610216.4 (22)申请日 2022.05.31 (71)申请人 扬州赛诺高德电子科技有限公司 地址

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