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本发明属于表面处理的技术领域，公开了一种Cr/CrN/CrCN/Cr‑DLC多层复合自润滑薄膜及其制备方法。所述薄膜材料由依次叠加的Cr层、CrN层、梯度分布的CrCN层以及DLC层所构成。将预处理后的304不锈钢基体放入镀膜设备基体安装架上，以安装在炉体内壁上的高纯C靶和Cr靶作为碳源和相应金属掺杂的来源，将高纯氩气和乙炔通入真空室，其中氩气作为主要离化气体，乙炔为薄膜引入氢元素提升薄膜质量，采用了梯度过渡层的设计方法，不但提高了薄膜的结合力，又保证了薄膜的耐磨性能和减磨性能的提高。本发明的高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114836715 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210278390.3
(22)申请日 2022.03.21
(71)申请人 华南理工大学
地址 510640
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