一种气电混合具多款料盒兼容的上下料端口装置.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种气电混合具多款料盒兼容的上下料端口装置.pdf

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本发明提供了一种气电混合具多款料盒兼容的上下料端口装置，属于半导体智能制造技术领域，包括竖直设置的竖板，所述竖板的上部开设有装载窗口，所述的装载窗口中设置有活动门，所述竖板的一侧水平固定有横板，所述横板的内部开设有活动窗口，所述活动窗口的上方滑动设置有装载平台，所述的装载平台与活动门分居在所述竖板的两侧，所述活动门的外侧设置有晶圆扫描框，所述的晶圆扫描框与活动门处于所述竖板的同一侧，所述的晶圆扫描框上设置有光纤扫描仪。本发明通过设置伺服电机和丝杆电机，保证了晶圆料盒进给运动和晶圆扫描运动的精度，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883232 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210389129.0 (22)申请日 2022.04.14 (71)申请人华芯（嘉兴）智能装备有限公司地址