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抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用.pdf

    本发明涉及一种抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用，所述方法包括以下步骤：在基底上镀制极紫外多层膜；保持极紫外多层膜的真空环境不变，进行镁靶材和铝靶材的预溅射；将镀制有所述极紫外多层膜的基底重复交替运动到镁靶材和铝靶材的溅射区域，控制运动参数，完成镁膜层和铝膜层交替生长的铝/镁多层膜结构的镀制，形成铝镁混合保护层，所述铝/镁多层膜结构中，每层镁膜的厚度为1‑3纳米，每层铝膜的厚度为1‑3纳米；将镀制完成的基底取出真空腔，放置于大气环境中自发融合。与现有技术相比，本发明制备效率高，能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112159962 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010945223.0 (22)申请日 2020.09.10 (71)申请人 同济大学 地址 20

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