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一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统.pdf

    本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162466 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010965090.3 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究

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