一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置.pdf

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本发明公开了一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置，包括真空腔体、供气系统、离子发生装置、支撑架、电源、磁场发生装置、真空泵、偏压电源和加热装置。其中，真空腔体为封闭腔体；供气系统用于向真空腔体提供工作气体和工艺气体，工作气体为惰性气体；离子发生装置包括空心阴极电子枪和辅助阳极；支撑架固定于真空腔体内；空心阴极电子枪与电源的负极电连接，辅助阳极与电源的正极电连接；磁场发生装置用于产生沿待涂层金属管轴线方向的磁场；真空泵与真空腔体相连；偏压电源与真空腔体相连；加热装置安装于真空腔体内。相比于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112195451 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 202011251238.3 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人北航(四川)西部国际创新港科技有