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2023-05-24 发布于四川
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一种大直径单晶硅生产设备.pdf

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本发明涉及单晶硅生产技术领域，且公开了一种大直径单晶硅生产设备，包括固定箱、上炉腔和转向轮，所述固定箱内腔左部固定安装有保温筒一，所述保温筒一的内壁固定安装有加热元件，所述上炉腔的顶部两侧均固定安装有转向轮，所述固定箱的内腔中部固定安装有石英坩埚，所述石英坩埚的底部固定连通有输送管。通过生长箱和石英坩埚的设置，使得固体多晶硅的融化与单晶硅的提取分为两个地点，进而减少多晶硅融化时产生的不稳定热场对单晶硅提取的影响，同时硅溶液在输送过程中，不在进行加热，以此增加熔体分布的范围与高度，提高熔体内的轴向

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112195514 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 202010977956.2 (22)申请日 2020.09.17 (71)申请人李黎莎地址 618

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