原创力文档- 1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供一种多层晶圆的堆叠方法及用于多层晶圆堆叠的系统。该多层晶圆堆叠的方法包括：将晶圆与载片晶圆键合；其中，晶圆上设置有第一特征图形；获取第一特征图形的不同位置相对于载片晶圆的套刻偏差值；对不同位置所对应的套刻偏差值进行拟合，以获得晶圆的实际偏差值；基于实际偏差值对晶圆的曝光制程进行补偿。该方法能够避免因晶圆与载片晶圆对准精度较低而导致晶圆无法进行曝光，进而导致晶圆报废的问题发生。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112201572 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010990047.2
(22)申请日 2020.09.18
(71)申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司
您可能关注的文档
- 一种新型瓶子模内定位装置.pdf
- 一种方便搬运的可调节包装箱.pdf
- 一种用于电热水器加热盘自动生产的插片上料装置.pdf
- 一种结构连接牢固的陶瓷阀芯.pdf
- 基于新能源出力随机特性的电网深度调峰运行优化方法.pdf
- 一种可长期贮存的恒温热屏蔽结构.pdf
- 一种单晶金刚石生长过程中的监测装置.pdf
- 一种组合式键盘.pdf
- 基于压电适配体传感器和AuNPs无标签检测OA的装置及方法.pdf
- 图片的监控方法、装置、电子设备和存储介质.pdf
- 执业药师考试药学综合知识与技能模拟考试试题p.pdf
- 2025年中国汽车燃油箱行业市场深度分析及行业发展趋势报告.docx
- 执业药师职业资格考试(药学四科合一)考试23年真题在线测试.pdf
- 执业药师药事管理学试题答案16p.pdf
- 执业药师药学专业知识二每日一练5.17毙考题.pdf
- 执业药师药学专业知识二(抗菌药物)模拟试卷9(题后含答案及解析).pdf
- 执业药师药学专业知识二(抗菌药物)模拟试卷1(题后含答案及解析).pdf
- 执业药师西药西药学专业知识一2020年模拟题83_真题-无答案.pdf
- 执业药师西药西药学专业知识二模拟题2020年(6)_真题-无答案(784).pdf
- 执业药师西药考试综合知识与技能题库答案附后.pdf
文档评论（0）