一种单晶金刚石生长设备.pdfVIP

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本发明适用于金刚石生产技术领域,提供了一种单晶金刚石生长设备;包括:机架;所述机架上固定安装有进气系统、冷却循环系统、电离室和沉积室;其中,所述电离室内部设置有自转动设置的电离筒;所述电离筒外侧设置有微波系统;所述电离筒内部设置有分气筒,所述电离室的输出端与沉积室的输入端连通;所述分气筒上阵列设置有出气孔,且所述分气筒外侧阵列设置有螺旋叶;所述分气筒底部设置有第二通道和第一通道,所述第二通道与分气筒内部连通,所述第一通道与电离筒内部连通,所述第一通道和调节腔与冷却循环系统循环连通。本发明很好地保

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176406 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010974601.8 (22)申请日 2020.09.16 (71)申请人 北京清碳科技有限公司

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