无回滞效应硅控整流器型ESD保护结构及其实现方法.pdfVIP

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  • 2023-05-24 发布于四川
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无回滞效应硅控整流器型ESD保护结构及其实现方法.pdf

本发明公开一种无回滞效应硅控整流器型ESD保护结构及其实现方法,该结构包括:半导体衬底(80);生成于半导体衬底的N阱(60)和P阱(70);高浓度P型掺杂(20)、高浓度N型掺杂(28)置于N阱(60)上部,高浓度N型掺杂(24)、高浓度P型掺杂(26)置于P阱(70)上部,高浓度P型掺杂(22)置于N阱(60)与P阱(70)分界处上部,所述高浓度P型掺杂(20)、高浓度N型掺杂(28)间为N阱(60)的一部分且间距为S,高浓度N型掺杂(28)与高浓度P型掺杂(22)之间为N阱(60)的一部分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110649016 A (43)申请公布日 2020.01.03 (21)申请号 20191

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