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本发明提供基于关键指标算法的光刻机台效能评价系统及其应用方法，提供光刻机台的生产源数据，将生产源数据通过数据处理模块处理后得到初始版本数据；基于初始版本数据得到多个关键指标；基于多个关键指标进行系统开发，包括：进行界面设计及其逻辑实现；进行接口项目的设计；创建服务程序并进行实现；创建宿主以及创建代理；光刻机台间效能利用排序。本发明设计关键指标的算法用来以更好的评估光刻机台利用效率，并将算法设计系统化，基于历史及当前数据对机台来货情况或机台状态进行预测，并实时监测机台当前跑货状况，有利于求得效能最
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112232578 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011154696.5
(22)申请日 2020.10.26
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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