一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法.pdf

本发明属于测试领域，提出一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法，包括敏感元件、陶瓷基座和耐高温引线；敏感元件为设有高温电极的弹性膜片，其包括五个铂金属电极和四个氧化铟锡压敏电阻。四个阻值相等的氧化铟锡压敏电阻连成惠斯登电桥。该传感器集成亚微米厚度的铂薄膜热敏电阻和氧化铟锡压敏电阻，实现原位同时测量温度‑压力参量。传感元件采用倒装齐平式封装，敏感的弹性膜片直接感受介质温度压力，避免引进气道管腔效应的影响。该测试方法无引压进气道，固有频率约等于敏感元件的固有频率，可实现高频动态测量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116147705 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202310220997.0 (22)申请日 2023.03.09 (71)申请人大连理工大学地址 116024

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