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- 2023-05-25 发布于四川
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本发明公开一种探针卡测试装置及其信号转接模块。信号转接模块包含基板、多个测试模块、及多个第一电连接器。基板具有顶面及底面。多个测试模块设置于顶面且位于晶圆测试区域。每个测试模块包含中心区域及环绕于中心区域的多个测试金属垫。多个第一电连接器位于信号转接区域、且电性耦接于多个测试模块。每个第一电连接器包含多个电性接点，多个电性接点设置于顶面，并且多个电性接点的至少部分电性接点通过多条信号扇出线路电性耦接于相对应的测试模块的多个测试金属垫。多个第一电连接器分别电性耦接于多个第二电连接器。借此，导电探针
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111721979 A
(43)申请公布日
2020.09.29
(21)申请号 20191
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