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提供被加工物的加工方法，将背面上层叠有材质不同的部件的被加工物高效地分割。被加工物的加工方法包含保持步骤和分割起点形成步骤。保持步骤是将被加工物的背面侧的部件保持于保持工作台的步骤。分割起点形成步骤是如下的步骤：在实施了保持步骤之后，从被加工物的正面侧按照使聚光点会聚于被加工物的内部的状态照射对于被加工物具有透过性的波长的激光光线，在被加工物的内部形成改质层，同时，通过从聚光点向背面侧泄漏的激光光线在层叠于被加工物的背面上的材质与被加工物不同的部件中形成分割起点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112216654 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010644377.6
(22)申请日 2020.07.07
(30)优先权数据
2019-1296
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