2022表面化学分析 辉光放电发射光谱方法通则.docxVIP

I I 表面化学分析 辉光放电发射光谱方法通则 目 次 前言 I 引言 II 范围 1 规范性引用文件 错误！未定义书签。 术语和定义 2 原理 错误！未定义书签。 仪器 3 辉光放电发射光源 3 光学单元 错误！未定义书签。 光电检测器和测量装置 错误！未定义书签。 分析步骤 5 仪器的检定 5 测定 6 附录 A （资料性） 安全 9 参考文献 10 PAGE PAGE 10 表面化学分析辉光放电发射光谱方法通则 范围 本文件为采用辉光放电发射光谱法进行体材分析和深度剖析提供指南。这里所讨论的方法通则仅限于刚性固体样品的分析，不包括粉末、气体或溶液的分析。结合现有和将来特定的标