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用于通过阴极溅射技术来沉积材料的机器.pdfVIP

用于通过阴极溅射技术来沉积材料的机器.pdf

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    一种用于通过阴极溅射技术在基板上沉积材料的设置有阴极组装件的类型的机器(1)，包括：基本上沿第一轴(A)延伸的管状支架(2)，以及多个磁性元件(5)，所述多个磁性元件(5)被约束在所述管状支架(2)上并且沿所述第一轴(A)彼此间隔开，并且其中所述磁性元件中的每一者具有链接相应磁极(N；S)的、至少一个第二磁取向轴(M)并且包括从所述管状支架(2)突出的外侧和被约束到所述管状支架(2)的内侧，其中链接每一磁性元件(5)的磁极的所述第二轴(M)横向于所述管状支架(2)的所述第一轴(A)，并且在所述管

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112272858 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 201880094344.X (51)Int.Cl.

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