一种等离子体环境下抑制磁体表面放电的处理方法.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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一种等离子体环境下抑制磁体表面放电的处理方法.pdf

一种等离子体环境下抑制磁体表面放电的处理方法,属于磁体表面处理技术领域。所述方法为在磁体本体外表面涂覆包括凝胶涂层、喷砂涂层和导电金属涂层的复合涂层;本体外表面采用锯齿状刮板涂抹凝胶涂层,待固化后进行喷砂涂层的制备,然后在此基础上再次涂抹凝胶涂层,将锯齿填平,凝胶涂层和喷砂涂层的厚度为2~4mm;待最外层凝胶固化后用砂纸打磨掉其尖角、毛刺,进行导电金属涂层的喷涂,导电金属涂层的厚度为80~130μm。凝胶涂层和喷砂涂层的组合可以有效降低线圈本体的放气率,缩短抽真空的时间,且达到真空密封的效果。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115976452 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211651441.9 C23C 4/08 (2016.01) (22)申请日 2022.12.2

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