一种高选择性玻璃蚀刻液及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种高选择性玻璃蚀刻液及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种高选择性玻璃蚀刻液及其制备方法。利用非氧化性无机酸、有机酸，含氟盐类，醇类化合物，阴离子氟碳表面活性剂等形成的蚀刻液对金属层上的玻璃纤维布进行选择性蚀刻处理，达到快速减薄玻璃的作用而尽可能不伤害导电层金属。通过调整各组分的搭配、含量配比，以及制备的工艺流程，在不改变玻璃表层粗糙度下，实现均匀蚀刻玻璃，提高玻璃蚀刻速率与金属蚀刻速率的选择比。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116143415 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202211620103.9 (22)申请日 2022.12.15 (71)申请人湖北兴福电子材料股份有限公司地址