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制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备.pdf

    本发明涉及一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备，采用了一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及其真空镀膜设备，通过镀膜设备预热：镀膜设备的腔体第一次清洗；镀膜设备的腔体第二次清洗；Ti元素第一次打底沉积，Ti元素第二次打底沉积；TiN反应溅射沉积；TiCN反应溅射沉积阶段；反复TiN和TiCN沉积以及类石墨涂层沉积以及关闭设备等步骤以后，实现了制备双极板氢燃料电池的表面耐腐蚀涂层，解决了现有技术中氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的技术问题，提升了氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的能力。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115976479 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211614903.X C23C 14/16 (2006.01)

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