磁控溅射操作流程及注意事项.docx

磁控溅射操作流程及留意事项 一、翻开冷却水箱电源〔注：水箱电源是设备的总电源。〕 检查水压是否足够大〔0.1MPa〕，水压掌握器是否起作用。二、放气 确认磁控溅射室内部温度已经冷却到室温； 检查全部阀门是否全部处于关闭状态； 磁控溅射室的放气阀是V2，放气时旋钮缓慢翻开，这可以保证进入气流不会太大； 放气完毕将气阀关紧。三、装卸试样与靶材 翻开 B 柜总电源〔在B9 面板上〕，电源三相指示灯全亮为正常。 提升或降落〔B4“升”或“降“〕样品台要留意点动操作，不要连续操作。 3.3 装卸试样与靶材要戴一次性薄膜手套，避开油污、灰尘等污染。 3.4 磁控靶屏蔽罩与阴极间距为 2-3 毫米，屏蔽罩与