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一种用于电子显微镜的真空减震装置.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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一种用于电子显微镜的真空减震装置.pdf

    本发明提供了一种用于电子显微镜的真空减震装置，属于真空装置减震技术领域，包括：电镜样品室，所述电镜样品室内适于放置待检测样品；真空设备，所述电镜样品室的底端通过减震结构与真空设备连接；所述减震结构包括减震波纹管及其外侧的阻尼减振环与减振调节环。本发明提供的用于电子显微镜的真空减震装置，适于放置待检测样品的电镜样品室，电镜样品室通过减震结构与真空设备连接，其中减震结构包括减震波纹管及其外侧的阻尼减振环与减振调节环，通过减震结构组成部分的三重配合达到电镜样品室的减震，效果明显，减震效果好，保证电子显

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115978133 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211679867.5 (22)申请日 2022.12.26 (71)申请人 北京中科科仪股份有限公司 地址

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