一种微型加热器、制备方法及多通道气体传感器.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种微型加热器、制备方法及多通道气体传感器.pdf

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本发明提供了一种微型加热器、制备方法及多通道气体传感器，涉及微型加热器技术领域。微型加热器包括硅基底和呈阵列式布置在硅基底上的多个气敏元件组，每个气敏元件组包括多个气敏元件，多个气敏元件组中的所有气敏元件单独供电，且用于与不同的气敏材料接触。上述技术方案对微型加热器的所有气敏元件进行单独供电，所以即使在单个气敏元件出现故障时也不会影响其他气敏元件的使用，可以提高具有微型加热器的气体传感器的使用灵活性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115973991 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211684436.8 (22)申请日 2022.12.27 (71)申请人苏州慧闻纳米科技