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本发明公开了一种修整装置和化学机械抛光系统，所述修整装置包括摆臂、基座和修整组件，所述基座设置于所述摆臂的端部，所述修整组件通过导向轴转动连接于基座的下方；所述修整组件包括安装座和修整盘，所述修整盘设置于安装座的下方；所述安装座包括固定件和转接件，所述固定件为环状结构，所述转接件设置于固定件的中心位置；所述转接件的上部与所述导向轴连接，其下部通过衔接件连接于所述固定件；所述衔接件为向上凸起的薄板结构，其与所述修整盘之间设置有间隙。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115972097 A
(43)申请公布日 2023.04.18
(21)申请号 202211684545.X
(22)申请日 2022.12.27
(71)申请人 华海清科股份有限公司
地址 30
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