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一种功能膜镀膜方法及功能膜镀膜装置.pdfVIP

一种功能膜镀膜方法及功能膜镀膜装置.pdf

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    本发明公开了一种功能膜镀膜方法及功能膜镀膜装置，处理方法包括：提供牵引基材膜运动的牵引力；提供喷向基材膜第一表面的第一气体薄层；第一气体薄层包括至少两路第一先导气层、第一缓冲区气体层以及第一气体隔离面气体层；第一缓冲区气体层在两路第一先导气层之间，第一气体隔离面气体层在第一先导气层及第一缓冲区气体层的四周用于与外界隔离；提供反向基材膜第一表面的第一回收气体层，第一回收气体层依靠气体的流动压力差运动用于对第一先导气层、第一缓冲区气体层以及第一气体隔离面气体层形成气体阻断；回收气体层为回收的工作气体

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112301326 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 20191

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