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一种晶棒旋转定位夹持装置.pdfVIP

一种晶棒旋转定位夹持装置.pdf

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    本发明公开了一种晶棒旋转定位夹持装置，包括机架，所述机架上设置有能够将装置进行转动的旋转机构，所述旋转机构连接有进行高度调节的升降机构，所述升降机构连接有伸缩机构，所述伸缩机构伸缩端连接有连接架，所述连接架上设置有能够根据不同晶棒进行调节的夹具移动机构，所述夹具移动机构上连接有对晶棒进行夹持的夹取机构，所述机架底部设置有减震机构。本发明的有益效果是本装置结构简单，实用性强，适用范围广，能够实现多种不同规格晶棒的夹持。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112297265 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 202011180941.X (22)申请日 2020.10.29 (71)申请人 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司

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