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本发明涉及一种音叉声热一体增强型痕量气体检测系统,包括激光源、隔离器、波分复用器、掺铒光纤、环形器、吸收气室、气体传感器、耦合器、前置放大器、锁相放大器、数据采集系统以及计算机系统。本发明还涉及一种音叉声热一体增强型痕量气体检测系统的检测方法,该系统运用了光声光谱法与光热光谱法相结合的方法,通过增加气室中气体的吸收光程来增强谐波信号,然后将石英音叉检测到的光声信号和光热信号的二次谐波幅值进行叠加,最后求得气体的最小检测极限会明显增强。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112304872 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 202011152863.2
(22)申请日 2020.10.26
(71)申请人 聊城大学
地址 25
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