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一种TMAH刻蚀中增加氧含量的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-27 发布于四川
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一种TMAH刻蚀中增加氧含量的方法.pdf

    本发明提供一种TMAH刻蚀中增加氧含量的方法，提供湿法刻蚀机台，湿法刻蚀机台中包含TMAH管路和TMAH回流管路；TMAH管路的出液口和TMAH回流管路的出液口通往混合液罐；TMAH回流管路的进液口连接有回流罐；在含有TMAH的回流罐中通入氮气，以减少回流罐中TMAH的氧含量；将TMAH经TMAH管路的出液口通入混合液罐，使混合液罐持续通入第一时间段的TMAH；将回流罐中TMAH经TMAH回流管路的出液口通入混合液罐，使混合液罐持续通入第二时间段的TMAH，使得混合液罐中TMAH的氧浓度为7.8

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116169048 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202111409044.6 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址

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