MEMS麦克风的制备方法及MEMS麦克风.pdfVIP

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2023-05-28 发布于四川
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MEMS麦克风的制备方法及MEMS麦克风.pdf

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本申请实施例涉及一种MEMS麦克风的制备方法及MEMS麦克风，通过提供衬底，衬底包括导电区域；形成从衬底的表面延伸至内部的凹槽；在衬底上沉积绝缘材料，形成填充在凹槽内的绝缘隔离结构；在衬底上形成振膜和背板，振膜和背板用于构成可变电容；形成与导电区域导电连接的第一电极、与振膜导电连接的第二电极以及与背板导电连接的第三电极；其中，第二电极在衬底的表面上的垂直投影与凹槽的形成位置至少部分重合；如此，利用绝缘隔离结构改善第一电极与第二电极之间的寄生电容问题，提高了MEMS麦克风的灵敏度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116170737 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202211719757.7 (22)申请日 2022.12.30 (71)申请人绍兴中芯集成电路制造股份有限公