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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种阴极磁过滤真空镀膜设备，包括安装机台，安装机台底端设有阴极磁过滤系统，阴极磁过滤系统内设有真空腔体、阴极磁控系统、蒸镀系统、电源系统和真空泵组、加热器以及加热管转架组件，阴极磁过滤系统是由弯管、导流线圈、阴极靶、引弧针以及等离子体档板构成，弯管内部有数百个特殊的ф3‑5mm凹坑结构，弯管内部设有多个内部倒钩结构，等离子档板边缘区域存在多个呈圆周阵列分布的螺丝孔；通过设置凹坑结构，弯管内部的凹坑结构在溅射过程中，其既能有效防止大颗粒物质的反射，又能让沉积在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112376026 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011267806.9
(22)申请日 2020.11.13
(71)申请人 深圳市鑫承诺环保产业股份有限公
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